NS-3600是一种可靠的三维(3D)激光表面轮廓仪,通过快速光学扫描模块和信号处理算法实现实时共焦显微图像。在测量和检测微观三维结构,如半导体晶片,FPD产品,MEMS设备,玻璃基板,材料表面等方面有着多种解决方案。
Features&Benefits(性能及优势):
高分辨无损伤光学3D测量自动倾斜补偿
实时共焦成像简单的数据分析模式
多种光学变焦双Z扫描
大范围拼接半透明基材的特征检测
实时CCD明场和共聚焦成像无样品准备
Software(软件):
Applicationfield(应用领域):
NS-3500是测量低维材料的有前途的解决方案。
可测量微米和亚微米结构的高度,宽度,角度,面积和体积,例如
-半导体:IC图形,凹凸高度,线圈高度,缺陷检测,CMP工艺
-FPD产品:触摸屏屏幕检测,ITO图案,LCD柱间距高度
-MEMS器件:结构三维轮廓,表面粗糙度,MEMS图形
-玻璃表面:薄膜太阳能电池,太阳能电池纹理,激光图案
-材料研究:模具表面检测,粗糙度,裂纹分析
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激光三维表面轮廓仪